碳化硅材料具有硬度大、耐磨損、彈性模量高等特性,目前,國內碳化硅冶煉及粉體主要用于耐火材料、磨料磨具、精細陶瓷的SiC粉體等。
研磨盤主要應用于高速研磨和拋光的工程中,像半導體行業和光伏產業,主要應用于大規模集成電路硅基片和光伏產業中硅片的拋光。以前生產中使用量比較多的是鑄鐵或鋼研磨盤,但鑄鐵或碳鋼材料,其使用壽命短、熱膨脹系數大,隨著碳化硅陶瓷耐磨材料的發展和和燒結工藝的開發,鑄鐵和鋼研磨盤逐漸被碳化硅研磨盤所代替。
碳化硅研磨盤和鑄鐵或鋼研磨盤相比,熱膨脹系數小、強度大、硬度高、使用壽命長、成本低,且熱膨脹系數與硅晶片基本相同,在高速的研磨和拋光過程中,可以保證硅片的加工精度。
近年來,光伏行業中硅片的尺寸越來越大,對研磨盤的質量和研磨效率要求越來越高。利用碳化硅研磨盤可以解決研磨和拋光的高要求,提高研磨質量和效率。碳化硅具有一系列優良性能,并且價格低廉,碳化硅陶瓷所具備的這些優良性能使其可以應用在金屬耐磨材料或高分子耐磨材料不能勝任的場所,在耐磨領域中展示著重要的應用前景。